ICP光谱仪是由ICP光源、进样设备、分光设备、检测器和数据处理系统组成。
其间ICP光源由高频产生器、石英炬管和高频感应线圈组成;
进样设备是由蠕动泵(一些仪器直接运用同心雾化器跋涉)、雾化器和雾室等组成;
分光设备由入射狭缝、分光元件、若干光学镜片组成及出射狭缝(全谱直读型没有);
检测器现在用的首要是光电倍增管和固体成像器件(现在首要有CCD和CID);数据处理系统首要有计算机、数据通讯版和仪器操控及数据处理软件组成。
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